精密空調機

型式: PAU series

• 高精度な温度管理：最大 ±0.1°C の精度で温度を安定的に制御し、高精度な製造プロセスに最適な環境を実現します。

• 安定した湿度管理：加湿・除湿機能を一体化し、±0.5% RH の精度で湿度を安定的に維持します。

• クリーンな生産環境：HEPAフィルターを搭載した Fan Filter Unit と組み合わせることで、Class 10～10,000 の清浄度を維持します。