| 型式 | QV Active 202 | QV Active 404 | |
|---|---|---|---|
| 測定範囲(X×Y×Z) |
250×200×150 mm | 400×400×200 mm | |
| 撮像デバイス | Color CMOS camera | Color CMOS camera | |
| 精度 | E₁x, E₁y | (2 + 3L / 1000) µm | (2 + 3L / 1000) µm |
| E₁z | (3 + 5L / 1000) µm | (3 + 5L / 1000) µm | |
| E₂ | (2.5 + 4L / 1000) µm | (2.5 + 4L / 1000) µm | |
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